본문 바로가기 주메뉴 바로가기

사업분야

STOCKER FFU

SPEC

  • • 제어범위T: 21~25 ℃
  • • 제어도SV±0.05℃
  • • FILTERULPA(PTFE)

FEATURE

  • • 초정밀 온도제어
  • • HEATLESS TEMPERATURE CONTROL
  • • ULPA(PTFE) FILTER

APPLICATION

  • • 반도체 라인 RETICLE, POD STOCKER 온도제어
TOP