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TCU
SPEC
•
제어범위
T: 21~25 ℃
•
제어도
SV±0.1℃
FEATURE
• Ink-jet 설비용 고압의 항온에어 공급
• 초정밀 온습도 및 항온수 공급
• 최적화 설계
APPLICATION
• 반도체, 디스플레이 등
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