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THC&TCU
신뢰있는 제품과 품질로 노력하겠습니다.  


제품명 THC (Temperature & Humidity Control system)





 Used to procedure when private environment (DI Water, Temperature, Humidity, Particle, Gas)
 control is needed during semiconductor procedure.
   .  Reduce 25% of energy with Environmental-friendly ECO development
   .  Extremely sensitive temperature and humidity control
   .  5kw Energy Saving system using condensation heat (Registered to Patent): Heater capacity reduction : 5kw
   . Constant temperature water supply equipment with no heating section
ITEM Specification Remark
Standard (W x D x H)mm 1,130W*2,550D*1,850H -
Cooling System Compressor -
CIR. Temperature Control Range SV:±0.05℃ -
THC Air Volume 100CMM @250mmAq -
Temperature Control Range SV:±0.05℃ -
Humidity Control Range SV:±0.5% -
Material Frame & Cover Steel + Powdering -
Cooling Unit STS304 +CU -


 반도체 공정 중 국부 환경제어(DI Water, Temperature, Humidity, Particle, Gas)가 필요한 공정에  적용.
   .  친환경 ECO 개발로 에너지 25% 절감
   .  초정밀 온·습도 제어
   .  응축열을 이용한 에너지 절감형 시스템 (특허 등록): Heater 용량감소 : 5kw
   .  가열부가 없는 항온수 공급장치
항  목 사 양 비  고
규격 (W x D x H)mm 1,130W*2,550D*1,850H -
냉각방식 Compressor -
CIR. 온도 제어도 제어도 : SV:±0.05℃ -
THC 풍          량 100CMM @250mmAq -
온도 제어도 제어도 : SV:±0.05℃ -
습도 제어도 제어도 : SV:±0.5% -
재 질 프레임 & 커버 Steel + 분체 도장 -
냉    각    부 STS304 +CU -





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